XGTP

Slit Valve con tenuta parallela per wafer di 300 mm
Lunga vita operativa di 3 milioni di cicli
Generazione di particelle ridotta di 1/5 ed oltre
Blocco meccanico a fine corsa
Facile sostituzione dei soffietti accessibili dall’alto (esecuzione speciale)
Intercambiabile con il prodotto XGT attuale.